Характеристики и описание
- Страна производительВеликобритания
Описание:
Системы подачи газов, используемые в полупроводниковой промышленности. Компания IGS (Europe) Ltd IGS является одной из ведущих компаний специализирующихся на системах подачи и контроля газов, в Великобритании. Десятилетиями эта компания развивала навыки, знания и опыт чтобы стать ведущим экспертом в этой области. Компания работает рука об руку с клиентами, и предлагает наиболее экономически эффективные решениям для реализации проекта
Основные возможности:
- различные конфигурации, как шкафное исполнение так и отдельные панели
- управление в ручном режиме, полуавтоматическом и полностью автоматические газовые системы
- сборка в условиях чистой комнанты класса 1000
Исполнения: одно, двух и трех баллонные.
Управление в ручном режиме, полуавтоматическом и полностью автоматические газовые шкафы.
Особенности:
- 12 мм сталь холодной проката, с белым (или по заказу) порошковым покрытием, используемые материалы устойчивы к коррозии
- Самозакрывающаяся дверца и окно
- Окно с армированным стеклом
- Вентиляционные решетки в передних дверях
- Фиксатор баллонов устойчив к коррозии
Комплектация
- Панель управления
- Аварийное отключение системы
- Вентиляционный датчик
- Водораспыляющая головка пожаротушения
- Фильтр 0,003 микрон.
- Для продува линий встроен эжекторный насос с трубкой Вентури
Опционально
- Полка регулирующая высоту баллона, можно использовать разные по высоте баллоны
- Порт для подключения течеискателя
- Встроенный анализатор утечки газа и внешняя панель оповещения оператора об утечке
- Блок автоматического продува линий и панели
|
|
Размеры в см |
||
| Модель |
ширина |
глубина |
высота* |
|
1 BC |
38 |
51 |
202 |
|
2 BC |
64 |
51 |
202 |
|
3 BC |
102 |
51 |
202 |
*Под заказ возможно изготовление газовых шкафов меньших по высоте.
Стандартные конфигурации газовых панелей в газовых шкафах
Двухбалонные конфигурации
Процесс - Продув
Внешняя линия для продува недоступна
Процесс (без переключения)
Газы совместимы для расположения в одном шкафу, внешняя линия продува.
Процесс (с переключением)
Применяется когда непрерывный поток газа является критичным и доступна внешняя линия для продува. Переключение с пустого баллона на заполненный для непрерывного процесса. Внешняя линия продува доступна.
Трех балонные конфигурации
Процесс - Процесс - Продув (без переключения)
Газы совместимы для расположения в одном шкафу, внешняя линия продува недоступна.
Процесс - Процесс - Продув (с переключением)
Применяется когда непрерывный поток газа является критичным и доступна внешняя линия для продува. Переключение с пустого баллона на заполненный для непрерывного процесса. Внешняя линия продува не доступна.
Панели.
Газовые панели для подачи технологических газов
Легки в установке, эксплуатации, с коротким временем изготовления и поставки.
Модульный дизайн - дает возможность грамотной конфигурации системы с применением стандартных комплектующих.
Каталожные части - компоненты панелей это стандартные каталожные части ведущих поставщиков для полупроводниковой промышленности. Что гарантирует многообразие решений с наименьшей стоимостью, высоким качеством и коротким временем изготовления.
Стандартизированные компоненты -использование компонентов со стандартизированными размерами и функциональностью, позволяя легко осуществить замену в случае необходимости.
Клапаны: Rotarex, AP Tech, Swagelok, Veriflo
Регуляторы: Rotarex, AP Tech, Tescom
Датчики: MKS, Setra
Серия IFS M-LM100
- Автоматическая панель для коррозийных газов высокого давления.
- SiH4 , HCl, HBr, Cl2 , NF3 , PH3, смеси и др
- Полностью автоматическая, для повышения чистоты процесса и безопасности.
- Регулятор давления (T) для баллонов и датчик давления.
- Переключатель низкого давления (EFS) для определения утечки.
- Система вентури для увеличения эффективности продува линии.
- Механическая защита от избыточного давления.
- Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.
Серия IFS M-LM700
- Ручная панель для инертных газов
- фреоны, N20, SF6 и др.
- Ручная газовая панель изготовленная с учётом требований стандартов безопасности.
- Клапан продува (PGI) позволяет использовать газ для продува линий.
- Система вентури для увеличения эффективности продува линии.
- Механическая защита от избыточного давления.
- Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.
Серия IFS M-LM300
- Ручная панель для коррозийных газов высокого давления
- SiH4 , HCl, HBr, Cl2 , NF3 , PH3 , смеси и др.
- Ручная газовая панель изготовленная с учётом требований стандартов безопасности.
- Переключатель низкого давления (EFS) для определения утечки.
- Система вентури для увеличения эффективности продува линии.
- Механическая защита от избыточного давления.
- Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.
Системы подачи газов IGS GAS CABINETS/ EQUIPMENT
Под заказ
Цену уточняйте
Минск ∙
Доставка
Оплата и гарантии