Описание:

Полностью автоматический газовый шкаф CiphercoN™ 1500 является результатом непрерывных целенаправленных усилий компании SDC обеспечить индустрию по производству полупроводниковых, фотогальванических/солнечных, биотехнологических, аэрокосмических и передовых материалов самым безопасным и надежным специализированным оборудованием для сверхчистого газа. Сочетание принципов широкой приспособляемости к требованиям заказчиков и модульной конструкции газовых панелей, структуры элементов управления и монтажных шкафов обеспечивает широкий диапазон для конфигурирования оборудования и значительно увеличивает гибкость выбора для пользователя.

Для производства и университетских лабораторий продукция SDC является очевидным выбором, отвечающим современным требованиям экономически эффективного решения.  Шкафы SDC для различных газов от силана (SiH4), аммиака (NH3), сероводорода (H2S) до селеноводорода (H2Se) используются для исследований и разработки и/или производственных решений.

CiphercoN™ 1500 обеспечивает все необходимые функциональные требования для подачи газа. Принцип модульной конструкции позволяет производить замену на уровне компонентов, облегчает обслуживание и модернизацию. Вначале необходимо выбрать одну из нескольких основных конфигураций. Модификация на уровне газовой панели позволяет выбрать тип регулятора, тип клапана, диапазон измерений датчика и степень чистоты.  Дальнейшая оптимизация возможна с помощью многочисленных опций, таких как встроенные весы, встроенный детектор утечки газа, фильтрование, очистка и многих других.
 

Свойства системы управления

• Управление с помощью программируемого логического контроллера всеми важнейшими функциями
• Яркий цветной сенсорный интерфейс 10,4"
• Опробованные процедуры автоматических последовательностей для всех режимов функционирования и обслуживания
• Устанавливаемые пользователем пределы для всех параметров обработки и аварийной сигнализации
• Мониторинг давления на выпуске
• Отображаемые на экране предупреждающие, аварийные сигналы, подсказки и инструкции
• Аварийное отключение питания (EMO)
• Входы EMO и EGO (датчик остаточного кислорода)
• Выходы аварийной сигнализации
• Многоуровневая защита паролем
• Диагностический экран
• Экран подсчета рабочих циклов клапана
• Готовность к продувке Z-типа для класса I DIV II

Свойства распределительной панели

• Материал конструкции для газа сверхвысокой чистоты - сталь 316 L, SS или сплав вакуумно-дугового переплава
• Среднее значение степени обработки поверхности не менее 10 Ra
• Беспружинные мембранные клапаны
• Регулятор давления со связанной диафрагмой
• Прецизионный датчик расхода
• Продувка с помощью вакуума
• Материал конструкции для газа сверхвысокой чистоты сварен орбитальной сваркой с применением фитингов VCR для ключевых соединений
• Утечка гелия проверена до значения 1,0 x 10-9 физической атмосферы куб.см/с
• Сборка и испытание для класса чистой комнаты CLASS 100 / CLASS 10

Стандартные конфигурации

• 2 баллона (1 для обработки, 1 для продувки)
• 2 баллона (2 для обработки), внешний источник для продувки
• 3 баллона (2 для обработки, 1 для продувки)
• Независимый вывод или автоматическое переключение
• Переключение между шкафами
• Размеры*
• 1 баллон 24" Ш x 84" В x 19" Г
• 2 баллона 24" Ш x 84" В x 19" Г
• 3 баллона 36" Ш x 84" В x 19" Г

*Размер по высоте включает контроллер. Необходимо добавить 6.0" к размеру по ширине при использовании опции подогрева баллона.